| 故障原因 | 檢測及排除方法 |
| 1、冷卻水水壓不足---設備主機和分機內各裝一個水壓開關，冷卻水水壓應大於0.2MPa. |
1、檢查冷卻水水泵應為增壓泵，且揚程大於30米，功率為300W以上； 2、堵住中頻電源出水口，使水壓暫時升高，以打開水壓開關，待報警消除後，再恢複出水； |
| 2、水壓開關設定值偏差或水壓開關故障； |
1、打開高頻電源主機，減小水壓開關設定值； 2、更換水壓開關； |
| 3、主板故障 | 發生幾率很低； |
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